荷兰巨头ASML将推出比EUV还先进的更新型光刻机
2021-12-15 118
12月15日，报道称，全球最先进的光刻机厂商荷兰AMSL公司正在开发一种新版本的EUV光刻机，将成为世界上最先进的芯片制造设备。
这种更新型的光刻机被称为High NA（高数值孔径）。据称，第一台高NA机器仍在开发中，预计从2023年开始提供先行体验，以便芯片制造商可以更快地开始验证并学会如何使用。然后，客户可以在2024-2025年以此进行自己的研发工作。2025年以后，便很可能用于大批量制造。
NA光刻机可以让芯片制造商研制出更复杂的芯片。光刻机是芯片的重要生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。
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